ブックタイトル日本結晶学会誌Vol62No3

概要

日本結晶学会誌Vol62No3

高分解能透過電子顕微鏡の現在と今後14．おわりに今回は透過電子顕微鏡技術についてこの10年の進歩を概観したが，電子線を使った回折手法にも種々の進展が見られる．従来から行われていた収束電子回折による精密構造解析では回折強度の精密測定のために磁場偏向型エネルギーフィルターを使って，損失エネルギ1～20 eVのプラズモン強度の除去が行われている．15）また回折強度だけから実空間の二次元構造情報（静電場分布）を出す研究も世界中で行われておりDiffractive16imagingと呼ばれている．我が国でも電子線）やX線17）の方々の研究がある．また位相問題解決のために，収束電子回折図形の重なり部分の強度分布を使うことも試みられPtychographyと呼ばれている（Rodenburg，Nellist）．電子線の実験手法は日進月歩であり，すでに1個1個の電子の検出器も商品化され，計測法としては光子1個1個を検出するX線回折の手法と同じレベルに達している．今後は高分解能電子顕微鏡分野でもAIや高度な統計処理も含めた実験結果がでることが期待される．18）,19）文献（我が国の研究者のものに限定させていただいた）1）S. Morishita et al.: Microscopy 67, 46（2018）.2）K. Kimoto et al.: Nature 450, 702（2008）．3）M. Terauchi et al.: Microsc. Microanal. 22, 70（2016）．4）M. Kuwahara et al.: Appl. Phys. Lett. 101, 033102（2012）．5）T. Tanigaki et al.: J. Phys., D 24, 244001（2016）．6）Y. Nomura et al.: Microscopy 67, 178（2018）．7）N. Shibata et al.: Nature Physics. 8, 611（2012）．8）Y. Takahashi et al.: Jap. J. Appl. Phys. 33, L1352（1994）．9）T. Seki at al.: Ultramicroscopy 182, 258（2017）．10）T. Nagai et al.: Phys Rev. B 96, 100405（2017）．11）N. Shibata et al.: Nature Com. 10, 2303（2019）．12）S. Takeda et al.: Microscopy 62, 193（2013）．13）N. Tanaka et al.: Microscopy 62, 205（2013）．14）K. Nagayama: Microscopy 60, S43（2011）．15）K. Tsuda et al.: Phys. Rev., B 86, 214106（2012）．16）J. Yamasaki et al.: Jap. J. Appl. Phys. 58, 120302（2019）．17）Y. Nishino et al.: Phy. Rev. Lett. 102, 018101（2009）．18）最近の外国論文リストはHawkes&Spence（eds.）“SpringerHandbook of Microscopy”（2020）に総括されている．19）また拙書“Electron Nano-imaging”，Springer（2017）および「走査透過電子顕微鏡の物理」，共立（2018）の著者索引を利用していただければ幸甚です．プロフィール田中信夫Nobuo TANAKA名古屋大学未来材料システム研究所Institute of Materials and Systems for Sustainability,Nagoya University, Japan Fine Ceramics Center〒464-8309名古屋市千種区不老町11 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8309, Japane-mail: ntanaka@nagoya-u.jp最終学歴：名古屋大学工学研究科博士課程博士（工学）専門分野：ナノ科学，電子顕微鏡学，電子線結晶学現在の研究テーマ：環境電子顕微鏡法日本結晶学会誌第62巻第3号（2020）179