ブックタイトル日本結晶学会誌Vol57No5

概要

日本結晶学会誌Vol57No5

268 日本結晶学会誌 第57 巻 第5 号（2015）秋本晃一が妥当であることを示していると考えられる．この結果，どの試料についても明確に極性が判別できることがわかる．さらに，Ga極性面とN極性面が混在する試料についてもその割合を明らかにできる可能性がある．本研究が，その後のGaN薄膜の高品質化の研究にどの程度寄与できたかは不明であるが，設計どおりの極性ができていることにいささかの疑念をもつことなくその後の研究が進められたのであれば望外の喜びである．試料を提供していただいた，赤﨑 勇先生，中村修二先生，碓井 彰氏ほか諸先生方に感謝いたします．本稿は小山貴之君の名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻の修士論文「異常分散X線回折法によるGaN薄膜の極性研究」（平成12 年3 月）による．文　献1） F. A. Ponce, D. P. Bour and J. W. Steeds: Appl. Phys. Lett. 69, 3372（1996）.2） B. Daudin, J. L.Rouviere and M. Arlery: Appl. Phys. Lett. 69, 2480（1996）.3） M. Seelmann-Eggebert, J. L. Weyher, H. Obloh, H. Zimmermann,A. Rar and S. Porowski: Appl. Phys. Lett. 71, 2635（1997）.4） A. Kazimirov, G. Scherb, J. Zegenhagen, T. -L. Lee, M. J. Bedzyk,M. K. Kelly, H. Angerer and O. Ambacher: J. Appl. Phys. 84, 1703（1998）.5） T. Yasoshima, T. Koyama, K. Akimoto, A. Ichimiya, C. Sasaoka andA. Usui: Proc. of 2nd ISBLLED, Chiba, 620（1998）.6） O. Romanyuk, P. Ji?i?ek, T. Paskova, I. Bieloshapka and I. Barto?:Appl. Phys. Lett. 103, 091601（2013）.7） A. R. Smith, R. M. Feenstra, D. W. Greve, M. -S. Shin, M.Skowronski, J. Neugebauer and J. E. Northrup: Appl. Phys. Lett. 72,2114（1998）.8） A. R. Smith, R. M. Feenstra, D. W. Greve, J. Neugebauer and J. E.Northrup: Phys. Rev. Lett. 79, 3934（1997）.9） V. Ramanchandran, C.D. Lee, R. M. Feenstra, A. R. Smith, J. E.Northrup and D. W. Greeve: J. Cryst. Growth 209, 355（2000）.10） 菊田惺志：「X線散乱と放射光科学 基礎編」, 東京大学出版会（2011）.11） 三宅静雄：「X線の回折」, 朝倉書店（1969）.12） S. Nishikawa and K. Matsukawa: Proc. Imp. Acad. Japan 4, 96（1928）.13） 小山貴之, 秋本晃一, 一宮彪彦, 砂川春夫, 碓井　彰, P. I.Cohen：平成11 年度日本結晶学会年会, B104（1999）.14） S. Sasaki: KEK Report 88-14（1989）.15） D. Coster, K. S. Knol and J. A. Prins: Z. Phys. 63, 345（1930）.16） A. Usui, H. Sunakawa, A. Sakai and A. A. Yamaguchi: Jpn. J. Appl.Phys. 36, L899（1997）.17） E. C. Piquette, P. M. Bridger, Z. Z. Bandic and T. C. McGill: J. Vac.Sci. Technol. B 17, 1241（1999）.18） R. Held, D. E. Crawford, A. M. Johnston, A. M. Dabiran and P. I.Cohen: Surf. Rev. Lett. 5, 913（1998）.プロフィール秋本晃一　Koichi AKIMOTO日本女子大学理学部数物科学科Japan Women’s University, Faculty of Science,Department of Mathematical and Physical Sciences〒112-8681 東京都文京区目白台2-8-12-8-1 Mejirodai, Bunkyo-ku, Tokyo 112-8681, JapanTEL. 03-5981-3607, FAX. 03-5981-3607e-mail: akimotok@fc.jwu.ac.jp最終学歴：東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻専門分野：表面界面物理0.811.21.41.61.822.21.18 1.185 1.19 1.195 1.2 1.205 1.21強度比波長(Å)実験値Ga面Ｎ面図16 膜厚2.8 μmの試料の計算値およびMOVPE試料（膜厚2.8 μm）の強度比の入射X線波長依存性．（Experimental X-ray wavelength dependence ofintensity ratio for the 2.8 μm thick MOVPE grownsample and calculated results（2.8 μm）for bothpolarities.）